輸出電壓

±10~2000

±10~4000

±10~6000

±10~8000

±10~12000

±10~20000

V

最小輸出電壓步長

1V (500V以內(nèi))

10V (2kV以內(nèi))

1V (500V以內(nèi))

10V (4kV以內(nèi))

1V (500V以內(nèi))

10V (6kV以內(nèi))

1V (500V以內(nèi))

10V (8kV以內(nèi))

1V (500V以內(nèi))

10V (12 kV以內(nèi))

1V (500V以內(nèi))

10V (20 kV以內(nèi))

V,

kV

輸出電壓精度

優(yōu)于±1%±5V

%

尺寸

347X300X145

mm

重量

5

6

6

6

6

7

kg

電壓、電流測(cè)量

電壓、電流測(cè)量無源探頭

支持的示波器

Keysight， Tektronix，Lecory主流型號(hào)示波器

支持的SMU

Keithley 2900 系列，Keithley 24xx/26xx系列

輸出電壓

±10~2000

±10~4000

±10~6000

±10~8000

±10~12000

±10~20000

V

放電RC值

C: 100pF±10%，R: 1.5k?±1%

短路峰值電流Ips

0.67A±10%每kV

ns

短負(fù)荷上升時(shí)間Trs

2<Trs<10

ns

短負(fù)荷衰減時(shí)間Tds

130<Tds<170

ns

短負(fù)荷振鈴Irs

<15%of Ips

500Ω負(fù)載峰值電流Ipr

Ipr/Ips≥63%

500Ω負(fù)載上升時(shí)間Trr

5<Trr<25

ns

HMM第一峰值電流

90

90

135

A

3.75A每1kV≤±10%

IEC 61000-4-2 (R=330?, C=150pF)

HMM電流@30ns

48

48

72

A

≤±10% (優(yōu)于IEC標(biāo)準(zhǔn)的±30% )

HMM電流@60ns

24

24

36

A

≤±10% (優(yōu)于IEC標(biāo)準(zhǔn)的±30% )

輸出電壓

±10~2000

±10~4000

V

放電RC值

C: 200pF，R: 0?

短路負(fù)載峰值電流Ip1

1.75±10%每100V

A

如果使用插座公差會(huì)不同

短路負(fù)載Ip2

Ip1的67%~90%

A

短路負(fù)載波形周期tpm

66<tpm<90

ns

500?負(fù)載峰值電流Ipr

0.85–1.2

A

@400V符合標(biāo)準(zhǔn)的條件

500?負(fù)載I100

0.23–0.4

A

@400V符合標(biāo)準(zhǔn)的條件

500?負(fù)載I200

測(cè)量的I100的30-50%

A

ESD測(cè)試儀

1.1

ES612A-2K

ES612 ESD測(cè)試儀，最高2kV，支持RS232 SCPI

ES612A-4K

ES612 ESD測(cè)試儀，最高4kV，支持RS232 SCPI

ES612A-6K

ES612 ESD測(cè)試儀，最高6kV，支持RS232 SCPI

ES612A-8K

ES612 ESD測(cè)試儀，最高8kV，支持RS232 SCPI

ES612A-12K

ES612 ESD測(cè)試儀，最高12kV，支持RS232 SCPI

ES612A-20K

ES612 ESD測(cè)試儀，最高20kV，支持RS232 SCPI

1.2

ES612A-HBM-2

人體模型2管腳模型，2kV

ES612A-HBM-4

人體模型2管腳模型，4kV

ES612A-HBM-6

人體模型2管腳模型，6kV

ES612A-HBM-8

人體模型2管腳模型，8kV

ES612A-HBM-12

人體模型2管腳模型，12kV

ES612A-HBM-20

人體模型2管腳模型，20kV

1.3

ES612A-HMM-8

人體金屬模型2管腳模型，等同8kV HMM

ES612A-HMM-24

人體金屬模型2管腳模型，等同24kV HMM

ES612A-HMM-36

人體金屬模型2管腳模型，等同36kV HMM

1.4

ES612A-MM-2

機(jī)器模型2管腳測(cè)試儀模型，2kV

ES612A-MM-4

機(jī)器模型2管腳測(cè)試儀模型，4kV

附件

2.1

CT-002-T

電流探頭1kHz至2GHz (優(yōu)于Tektronix CT1&CT2)

2.2

ES62X-CMPS

簡(jiǎn)易手動(dòng)探針臺(tái)

2.3

XYZM

XYZ探針座，XYZ可移動(dòng)500mils，0.01mm每個(gè)步進(jìn)

2.4

XYZM-HBM

HBM探針臂

2.5

XYZM-HMM

HMM探針臂(47.5R)

2.6

HBM-TC0.3

0.3mm用于IC探針封裝的變槳測(cè)試夾

2.7

HBM-TC2.5

2.54mm用于PCB探針的變槳測(cè)試夾(默認(rèn)配置包含1組)

2.8

XYZM-PP048

0.48mm用于封裝級(jí)測(cè)試的彈簧針 (一包20個(gè))

2.9

XYZM-TN1

鎢鋼針–5mils尖頭，用于晶圓級(jí)測(cè)試 (一包10個(gè))

第三方設(shè)備

3.1

KSMU2400

SMU，200V，1A，20W，單通道(用于設(shè)備直流自動(dòng)失效檢測(cè)))

3.2

OSC-1G

1 GHz BW，5Gs/S，4通道示波器

ES612A ESD測(cè)試儀(HBM、HMM、MM) 自動(dòng)化解決方案

4.1

HBM-RE64X2

64X2用于HBM自動(dòng)測(cè)試的管腳轉(zhuǎn)接擴(kuò)展模塊

4.2

HBM-RE128X2

128X2用于HBM自動(dòng)測(cè)試的管腳轉(zhuǎn)接擴(kuò)展模塊

4.4

ES62X-PC-SW1

預(yù)裝自動(dòng)測(cè)試軟件的臺(tái)式電腦，用于2管腳、脈沖和SMU

4.5

ES62X-PC-SW2

預(yù)裝自動(dòng)測(cè)試軟件的臺(tái)式電腦，用于2管腳、脈沖、示波器和SMU

4.6

ES62X-PC-SW3

預(yù)裝自動(dòng)測(cè)試軟件的臺(tái)式電腦，用于RE 多管腳、脈沖、示波器和 SMU

4.7

ES650-150

全自動(dòng)2管腳低寄生機(jī)械自動(dòng)化方案  (不限制管腳，不需要PCB，PC&包含全自動(dòng)軟件)